Como nueva marca de FE-SEM, la línea de la serie Regulus se compone de cuatro modelos: el Regulus8100, Regulus8220, Regulus8230 y Regulus8240, que amplían las funciones de la serie SU8200 con el uso de una plataforma común.

Con los sistemas ópticos optimizados, la nueva serie Regulus presenta resoluciones de hasta 0,9 nm en los modelos Regulus 8220/8230/8240 y 1,1 nm en el modelo Regulus8100, lo que supone una mejora de aproximadamente el 20% en la resolución con una tensión de aterrizaje de 1 kV en comparación con los modelos anteriores.

La serie Regulus emplea una nueva pistola de emisión de campo frío (CFE) optimizada para imágenes de alta resolución a bajas tensiones de aceleración. Esta pistola CFE permite ampliar imágenes de alta resolución hasta 2 millones de veces, * 1 en comparación con 1 millón de veces en modelos anteriores.